SEMICON Korea 2018

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myPET

인쇄전자 공정에서 전도성 Paste로 인쇄된 패턴을 Flash Lamp를 이용하여 단시간에 소결해주는 장비 More...

EGiS

Glass Edge부 Crack 및 Chipping 유무를 검사하는 장비. Real Time/In-situ 전수검사 컨베이어, 로봇, 스테이지, 진공 챔버에서 검사 가능 어떤 장비와도 통신대응 가능 Full Image Data 저장 가능 각 공정에 맞... More...

Smart-HMS

CVD 공정 시 Plasma 이상 현상을 OES 방식으로 분석하여 Plasma 상태 Monitoring 기준 Plasma값과 비교하여 Spec Out 발생 시 연결된 설비에 이상상태 전달 반도체 및 디스플레이 제조 공정 중 주로 CVD, EVEN 공정에서 사용... More...

Smart-EPD

Dry etching 공정 시 사용하는 Plasma를 OES 방식으로 분석하여 해당 막질의 제거 여부(식각 종료점)를 연결된 설비에 전달하여 공정을 최적화함. 반도체 및 디스플레이 제조 공정 중 주로 Dry etching, Ashing 공정에서 사용. More...