SEMICON Korea 2018

Glass Edge부 Crack 및 Chipping 유무를 검사하는 장비. Real Time/In-situ 전수검사 컨베이어, 로봇, 스테이지, 진공 챔버에서 검사 가능 어떤 장비와도 통신대응 가능 Full Image Data 저장 가능 각 공정에 맞는 최적의 광학 구성 가능 (투과 / 반사 / 동축 / 듀얼 / IR 등) 각 공정에 맞는 Part 제작으로 모든 구역에 설치 가능 지속적인 Algorithm Upgrade