SEMICON Korea 2018

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절연막 식각/증착 패턴 형상 시뮬레이터 • 반도체 및 디스플레이 플라즈마 식각/증착 공정 시뮬레이션 소프트웨어로서, 공정 과정에서 얻어지는 형상과 공동현상, 에칭 스탑, 폴리머 증착 등의 현상을 시뮬레이션 할 수 있는 소프트웨어 More...