SEMICON Korea 2018

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Products (3)

LAM Exellan 200MM Modified ESC

본 제품은 기존의 LAM사의 Exellan 200MM ESC에서 자주 발생되는 failure issue를 해결하기 위해 개발한 제품이다. More...

ESC for Clamping Saphire Wafer

본 제품은 조밀한 전극구조로 설계되어 유전율이 낮은 Sapphire나 glass 소재의 wafer를 흡착할 수 있도록 개발된 제품이다. More...

LAM Anodized ESC

유전층을 anodized 한 정전척 모델 중 하나로, LAM사에서 개발한 제품으로 제스코는 본 제품을 해외 다른 고객사에 공급하고 있다. More...