SEMICON Korea 2019

PRIMELINE

PRIMELINE 시리즈(series)는 CLEANSORB를 이용한 모든 기능을 보유한 모델입니다. 이 시스템은 금속 유기 화학 기상 증착(MOCVD) 공정에서 사용되는 가스의 종류, 사용량 및 운영조건에 특화되어 설계 되었습니다. CLEANSORB PS 모델은 대용량의 백업 컬럼(Back-up Column)이 존재하여, 메인 컬럼(Main column)에 문제가 생기거나 수명이 다한 경우에라도 지속적인 운영과 고객 제품의 생산 진행이 가능합니다.