SEMICON Korea 2019

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친환경 세정 FTPEN & 스크럽 벨트

Chamber의 구석지거나 좁은 세부 구역(ESC의 가장자리, 구멍 등)을 세정하는데 탁월한 도구로 Diamond 재질의 ScrubBELT의 Grit을 선택 세정하여 표면 손상을 최소화할 수 있습니다. 또한 ScrubBELT를 쉽게 장착하고 회전 할 수 있도록 스프링을 조절할 수 있어 부품 사용 시간을 감소시킬 수 있습니다.