SEMICON Korea 2018

CVD 공정 시 Plasma 이상 현상을 OES 방식으로 분석하여 Plasma 상태 Monitoring 기준 Plasma값과 비교하여 Spec Out 발생 시 연결된 설비에 이상상태 전달 반도체 및 디스플레이 제조 공정 중 주로 CVD, EVEN 공정에서 사용 World 1st Real-Time Vacuum Chamber Plasma Health Monitoring System 다양한 통신 방식 지원