SEMICON Korea 2018

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S8000G

Ion Beam Current가 100nA 로 기존 Ga-FIB 보다 약 두 배 빠른 Milling rate를 가지며, Ion Gun resolution 이 <2.5nm 로서 TEM Lamella 제작에 우수한 성능을 보이는 제품.