SEMICON Korea 2018

AEGIS-1000 Series는 반도체 공정 중, 전기적인 효율과 특성을 최적화하기 위해 Metal 소재를 Wafer 표면의 회로에 이온 도금 공법을 이용하여 RDL, TSV, Bump등의 형태로 제공하는 양산형 전자동 전기 도금장비다.