SEMICON Korea 2018

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X-eye NF120

Nano-focus X-ray 검사장비 Sub-micron 단위의 불량 검출이 요구되는 반도체 패키징, 웨이퍼 레벨 패키징(WLP) 분야에 특화된 400나노급 Nano-focus Tube를 장착한 장비입니다. 3D CT 모듈을 추가 구성할 경우 단층 분석이 가능하며, 웨이퍼 핸들러 장착을 통하여 웨이퍼 시료의 로딩부터 검사판독까지 자동으로 진행되는 Wafer Bump Auto Inspection도 가능합니다.