SEMICON Korea 2018

XWS 광원은 CW 레이저펌핑 플라즈마 광원으로서 180nm-2700nm 의 초광대역스펙트럼을 제공합니다. 고압 제논(Xe) 방전관에서 고전압 스파크로 초기 플라즈마를 발생한 후 집속된 CW 레이저빔으로 제논 플라즈마를 연속으로 유지하는 방식으로 작동됩니다.