SEMICON Korea 2018

가스정제기 Microtorr purifier

벌크 가스 뿐만 아니라 특수가스, 유독성가스, 부식성 가스를 정제하기 위해 새로운 정제기를 디자인하였습니다. GSZ(Getter Stabilized Zeolite) 기술을 적용한 Micro Torr 정제기는 간단한 설치로 상온에서 사용 가능합니다.