SEMICON Korea 2018

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SUS Valve

KITZ SCT SUS Valve 1.고온환경에 대응 가능한 Diaphragm 밸브 (1) KDA Series : 전체 높이를 낮게 축소한 범용형 (2) TDA Series : 효율적인 Space의 집적화 대응형 2. APC Butterfly 밸브 (1) 모터 구동에 의한 고속, 광범위 압력제어 (2) 최소누출 포인트에서 밸브 개도 60%까지 압력 제어 가능