SEMICON Korea 2018

AETS Co., Ltd. 

Booth A668

Hwaseong-si, Gyeonggi-do  
      Korea (South)

“가치높은 기술과 차별화된 서비스 제공” 

  

* 에이텍솔루션 주요 제품 소개

1. Wafer Recyle

국내 최초 30nm급 / 300mm Wafer Recycle

고객 맞춤 Wafer 제작

고품질 26nm 대응 기술력 확보

Class 1 Zone의 제작 환경

Capacity - Film Decap : 200K/月

                 Wafer Recycle(CMP/Nano세정) : 20K/月

 

2. Quartz Cleaning

반도체 Diff / LPCVD 공정에서 사용되는 Quartz 제품 세정

FAB - 환경 Class1, 온/습도 관리, 하향급식 공조시스템

분석실 - ICP-MS 성분 분석기

Utility - DI 비저항 관리, DI P/C 관리, 폐액관리, Oil Free Compressor

 

3.  Aera MFC

FC-R780 Series

Transformer PAR780 / DNR780 Series

FC-DR980 Series

PI-980 Series 

  

4. Rust Clean Up

배관내부의 녹물을 특수 금속의 스크류 방식으로 회전시켜 수 압력을 증대시켜

이온화 효과를 확대시킴으로써 스케일의 제거 범위가 상대적으로 증가 될 뿐만

아니라, 이온화 된 맑은 물의 이동 거리가 현저하게 길어져 먼 거리의 배관 내부의

녹(스케일)과 지하수 석회질, 철분 이끼 등을 설치 즉시 제거 및 재 발생이 안되게

하며, 화학적 반응이 아닌 금속 이온반응 방식의 친 환경적인 음용이온수 발생

처리기.

Product Categories

- Flow Control Components - Valves; Meters; Gauges; Regulators; MFC's