SEMICON Korea 2019

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CRenvis Co., Ltd. 

CMP Slurry Particle Analyzer

DMA와 CPC를 사용하여 기존 DLS의 단점을 해결, Particle size가 여러종 섞여있어도 분리측정이 가능함. Nebulizer로 Slurry를 미세분사하고 분사된 Vapor를 Heating하여 Particle만 잔류하게 한 후 DMA와 CPC로 Particle Size별 분류하여 측정 제조사 : 미국 Kanomax FMT