SEMICON Korea 2019

DMA와 CPC를 사용하여 기존 DLS의 단점을 해결, Particle size가 여러종 섞여있어도 분리측정이 가능함. Nebulizer로 Slurry를 미세분사하고 분사된 Vapor를 Heating하여 Particle만 잔류하게 한 후 DMA와 CPC로 Part... More...

반도체 클린룸, 장비내 파티클 측정용 0.1um 파티클카운터 (모델 AeroTrak 9110) 수많은 고객사를 확보한 고품질, 고내구성의 파티클카운터 입니다. 제조사 : 미국 TSI More...

Ultra Pure Water의 10nm 파티클카운터, 기존 OPC의 한계를 뛰어넘어 고정밀 측정결과 도출, Nebulizer원리를 사용한 획기적인 제품 제조사 : 미국 Kanomax FMT More...

반도체 초미세공정에 대응하여 개발된 10nm 파티클카운터입니다, 공정설비, 클린룸에서 10nm 급 파티클을 측정할 수 있습니다, 아울러 Bulk Gas인 N2, Air, Argon, CO2에서도 측정 가능합니다. More...