Smart-EPD Pro – 영문
Real-Time/In-Situ Plasma Process End Point Detection
Various applications on Semiconductor, FPD, MEMS, TSV and etc.
Applications Specific Add-On Software by Lots of Field Experience
Data Logs for Tracking down any Process Results and Failures
Smart-EPD Pro – 한국어
Dry Etching 공정 시 사용하는 Plasma를 OES 방식으로 분석하여 해당 막질의 제거 여부(식각 종료점)를 연결된 설비에 전달하여 공정 최적화
반도체 및 디스플레이 제조 공정 중 주로 Dry Etching, Ashing 공정에서 사용
OES(CCD Type)방식으로 Full Wavelength(200~850nm)에 대한 실시간 모니터링
Worldwide Market Share Leader
다양한 Etcher Maker에서 사용 중이며, 다양한 통신 방식 지원
Smart-HMS – 영문
Real-Time/In-Situ Plasma Chamber Vacuum Leakage Detection
Various applications on Semiconductors, FPDs, Solar Cells and etc.
End Point Detection for In-Situ Chamber (Dry) Cleaning
Fault/Strange Plasma Behaviors Detection
Smart-HMS – 한국어
CVD 공정 시 Plasma 이상 현상을 OES 방식으로 분석하여 Plasma 상태 Monitoring
기준 Plasma값과 비교하여 Spec Out 발생 시 연결된 설비에 이상상태 전달
반도체 및 디스플레이 제조 공정 중 주로 CVD, EVEN 공정에서 사용
World 1st Real-Time Vacuum Chamber Plasma Health Monitoring System
다양한 통신 방식 지원
EGiS – 한국어
Glass Edge부 Crack 및 Chipping 유무를 검사하는 장비.
Real Time/In-situ 전수검사
컨베이어, 로봇, 스테이지, 진공 챔버에서 검사 가능
어떤 장비와도 통신대응 가능
Full Image Data 저장 가능
각 공정에 맞는 최적의 광학 구성 가능 (투과 / 반사 / 동축 / 듀얼 / IR 등)
각 공정에 맞는 Part 제작으로 모든 구역에 설치 가능
지속적인 Algorithm Upgrade
고객 Needs에 의한 장비 개발 및 Upgrade 가능 (Particle검사기, 면취량 검사기, ND 기능 등)
EGiS – 영문
An inspection system checking cracks or chipping on the edge of glass
Real time/in-situ all inspection
Applicable in conveyor, robot, stage, vacuum chamber
Communicate with all other equipment
Full image data can be saved
Optimum optical configuration for each process(transmission / reflection / co-axis / dual / IR )
Can be installed in all areas by making parts for each process
Continuous algorithm upgrade
Develop & upgrade system by customers’ needs (particle, chamfer, ND function etc.)
myPET-한국어
인쇄전자 공정에서 전도성 Paste로 인쇄된 패턴을 Flash Lamp를 이용하여 단시간에 소결해주는 장비.
소량 주문생산 가능
Flexible Substrate에도 적용 가능
총 공정 수 대폭 적음
저가의 생산비용
재료의 낭비가 적어 친환경적
myPET-영문
myPET™ is the product name of IPL(Intense Pulsed Light) equipment made by Semisysco.
Current production method for electronic devices can be replaced by simple printing & sintering using myPET™.
Compared to traditional sintering like thermal furnace, IPL provide that substrate damage and processing time can definitely be reduced, and also by using Cu paste/ink instead of current Ag-based material, IPL sintering helps to cost down.
myPET™ can be designed to customer needs and provided with myCINK™ as total solution.