국가핵융합연구소는 플라즈마 기술을 이전받은 국내 중소기업 경원테크가 반도체 핵심 제조공정에 필요한 소프트웨어의 국산화에 성공했다고 13일 밝혔다.
K-스피드로 명명된 이 소프트웨어는 플라즈마를 사용하는 반도체 식각 및 증착공정을 시뮬레이션해 실제 공정 결과를 예측할 수 있으며 기존 단일 CPU 기반 제품대비 100배 이상 계산시간을 단축하는 장점이 있다.
경원테크는 핵융합연, 표준연, 전북대, 부산대 등과 산학연협력 연구를 통해 개발에 성공했으며, 최근 삼성전자 반도체연구소와 성능평가를 완료하고 소프트웨어 공급계약을 체결했다.
서광원 경원테크 대표는 “향후 반도체 공정에 사용하는 다양한 복합가스 모듈, 플라즈마 화학반응 모듈 등이 장착되는 시뮬레이터 기술을 핵융합연에서 이전받아 추가적인 현장 맞춤형 반도체 공정 소프트웨어 개발에 주력할 방침”이라고 말했다.